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潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)

時(shí)間:2018-04-16

【導(dǎo)讀】 經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中

 


一、定義

 

潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。

 

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

 

潔凈室用途主要有以下三個(gè):

 

空氣潔凈室:已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。

 

靜態(tài)潔凈室:各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。

 

動(dòng)態(tài)潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。

 

二、控管項(xiàng)目

 

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

 

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

 

3、溫度和濕度之控制。

 

4、壓力之調(diào)節(jié)。

 

5、 有害氣體之排除。

 

6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

 

7、靜電之防制。

 

8、電磁干擾預(yù)防。

 

9、安全因素之考慮。

 

10、節(jié)能之考量。

 

三、分類

 

亂流式(Turbulent Flow)

 

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

 

定義:氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。


原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級以上至30萬級凈化級別)。


特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)


(1)自凈時(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級別的時(shí)間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)


(2)換氣次數(shù)(按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))


優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。


缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。


層流式(Laminar)

 

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:

 

(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。


優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。


缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

 

(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。


優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。


缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。

 

復(fù)合式(Mixed Type)

 

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

 

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。

 

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。


潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

 

(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

 

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈棚、裝配式潔凈室、潔凈衣柜即屬此類。


潔凈工作臺:等級Class 1~100級。

 

潔凈棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運(yùn)用。

 

四、氣流的流動(dòng)

 

氣流的重要性

 

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。


潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。


風(fēng)速的控制

 

潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。


另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。


垂直層流式方向要保持均一氣流必須:


(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;


(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。


影響因素

 

影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時(shí)對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。


一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。


潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

 

五、潔凈室之構(gòu)成

 

潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:

 

(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

 

(2)空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

 

(3)隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。

 

(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。

 

(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。


潔凈室之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:

 

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;

 

B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;

 

C.吸濕性小;

 

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;

 

六、潔凈室按用途分類(可分為兩大類)

 

工業(yè)潔凈室


以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。


生物潔凈室

 

主要控制有生命微粒(細(xì)菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;

 

A、 一般生物潔凈室:主要控制微生物(細(xì)菌)對象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。

 

B、 生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例:細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程(重組基因、疫苗制備)

 

七、潔凈室污染源知識

 

1、發(fā)塵量

 

潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量,來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除,不流入室內(nèi);產(chǎn)品,材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比,一般極小,可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少,一般占10%以下,發(fā)塵主要來自人,占90%左右。在人的發(fā)塵量上,由于服裝材料和樣式的改進(jìn),發(fā)塵絕對量也不斷減少。

 

A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量最大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

 

B、樣式:大掛式發(fā)塵量最大,上下分裝型次之,全罩型最少;

 

C、活動(dòng):動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍;

 

D、清洗:用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。

 

室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量,以地面為準(zhǔn),大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。


2、發(fā)菌量

 

工作人員產(chǎn)生的污染:

 

1)皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)

 

2)頭發(fā):人類的頭發(fā)(直徑約為50~100微米)一直在脫落。

 

3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。

 

4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。

 

5)人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。

 

6)人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。

 

7)人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。


分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為:

 

(1) 潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí):

 

靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人

 

軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人


快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人


(2) 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人


噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人


(3) 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人


(4) 無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14


(5) 發(fā)菌量:發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例:


(6) 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人


所以,可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/ min.人,動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/ min/人,以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。

 

八、潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

 

國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

 

(1).潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2001


(2).醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002


(3).醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50457-2008


(4).傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范


(5).醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996


(6).QS認(rèn)證質(zhì)量手冊


(7).GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范


國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范 ISO系列

 


(1)ISO14644-1 空氣潔凈度等級劃分


(2)ISO14644-2 為認(rèn)證ISO14644-1的 連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求


(3)ISO14644-3 測試方法


(4)ISO14644-4 設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)


(5)ISO14644-5 運(yùn)行(Operations)


(6)ISO14644-6 術(shù)語和定義


(7)ISO14644-7 分離裝置(潔凈空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設(shè)備


(8)ISO14644-8 分子污染


(9)ISO14644-9 潔凈化學(xué)品(液體)

 

IEST系列


潔凈空氣:

 

RP-CC001高效與超高效過濾器

 

RP-CC002單向流裝置

 

RP-CC006潔凈室測試RP-CC007超高效過濾器測試

 

RP-CC008氣體吸收裝置

 

RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率

 

RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器介質(zhì)測試

 

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

 

潔凈室與潔凈環(huán)境:

 

RP-CC006潔凈室測試

 

RP-CC012潔凈室設(shè)計(jì)要點(diǎn)

 

RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率

 

RP-CC018潔凈室管理運(yùn)行與檢測程序

 

RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電

 

RP-CC023潔凈室中的微生物

 

RP-CC024微電子設(shè)備震動(dòng)測量與說明

 

RP-CC026潔凈室運(yùn)行

 

RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為

 

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

 

特殊應(yīng)用:

 

RP-CC029使用噴漆器要考慮的污染控制因素

 

運(yùn)行保障:

 

RP-CC003凈室與受控環(huán)境的服裝系統(tǒng)要點(diǎn)

 

RP-CC004凈室與受控環(huán)境用抹布材料評估

 

RP-CC005凈室與受控環(huán)境用手套和指套

 

RP-CC020潔凈室文件材料與格式


設(shè)備:

 

RP-CC002單向流裝置

 

RP-CC013設(shè)備校準(zhǔn)與檢驗(yàn)程序

 

RP-CC015潔凈室生產(chǎn)設(shè)備與輔助設(shè)備

 

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏


術(shù)語:

 

RP-CC011污染控制領(lǐng)域術(shù)語和定義


文獻(xiàn):

 

RP-CC009污染控制領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)、準(zhǔn)則、方法與相關(guān)文件概覽

 

九、行業(yè)應(yīng)用

 

潔凈工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。


目前級別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領(lǐng)域,面積相對較小。


另外對級別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。

 

十、詳細(xì)參數(shù)

 

潔凈標(biāo)準(zhǔn)與潔凈等級 (ISO 國際標(biāo)準(zhǔn))各粒徑檔最大容許粒子濃度 (顆/m3) 


經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中。

 

GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級

 

等級每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù) 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù)

 

附:

 

根據(jù)潔凈室國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644: 百級潔凈室就是5級。

 

對于百級潔凈室,其室內(nèi)氣流流型為垂直單向流或水平單向流,氣流流速為:0.2~0.5m/s,百級潔凈室0.5μm的塵埃粒子數(shù)為:3520PCS/m3。正常情況下其滿布比達(dá)到80%,垂直單向流滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流滿布比不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

 

單向流潔凈室下限風(fēng)速建議值:

 

為了保證潔凈室能控制以下四種污染的最小風(fēng)速:

 

a. 當(dāng)污染氣流多方位散布時(shí),送風(fēng)氣流要能有效控制污染的范圍;

 

b. 當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流同向時(shí),送風(fēng)氣流要能有效控制污染氣流到達(dá)下游的擴(kuò)散范圍;

 

c. 當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流逆向時(shí),送風(fēng)氣流能把污染氣流抑制在必要的距離之內(nèi);

 

d. 在全室被污染的情況下,足以在合適的時(shí)間迅速使室內(nèi)空氣自凈


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